| Модель датчика | F400 | F1 | F1/90º | F10 | N1 | CN02 | |
|
Принцип действия |
Магнитная индукция |
Вихревые токи |
|||||
| Диапазон измерения, мкм | 0-400 | 0-1250 | 0-10000 |
0 - 1250 мкм |
10 - 200 | ||
|
Разрешение, мкм |
0.1 | 0.1 | 10 | 0.1 | 1 | ||
| Точность | Одна точка калибровки, мкм | ±(3%H+1) | ±(3%H+10) | ±(3%H+1.5) | ±(3%H+1) | ||
|
Две точки калибровки, мкм |
±[(1~3)H%+0.7] | ±[(1~3)H%+1] | ±[(1~3)%H+10] | ±[(1~3)%H+1.5] | - | ||
|
Условия измерения |
Мин.кривизна, мм |
Выпуклость 1 | 1.5 |
Плоскость |
10 | 3 |
Плоскость |
|
Мин.пятно контакта, мм |
Ø3 |
Ø7 |
Ø7 |
Ø40 |
Ø5 |
Ø7 |
|
|
Критическая толщина подложки (мм) |
0.2 | 0.5 | 0.5 | 2 | 0.3 | - | |