Модель датчика | F400 | F1 | F1/90º | F10 | N1 | CN02 | |
Принцип действия | Магнитная индукция | Вихревые токи | |||||
Диапазон измерения, мкм | 0-400 | 0-1250 | 0-10000 | 0 - 1250 мкм | 10 - 200 | ||
Разрешение, мкм | 0.1 | 0.1 | 10 | 0.1 | 1 | ||
Точность | Одна точка калибровки, мкм | ±(3%H+1) | ±(3%H+10) | ±(3%H+1.5) | ±(3%H+1) | ||
Две точки калибровки, мкм | ±[(1~3)H%+0.7] | ±[(1~3)H%+1] | ±[(1~3)%H+10] | ±[(1~3)%H+1.5] | - | ||
Условия измерения | Мин.кривизна, мм | Выпуклость 1 | 1.5 | Плоскость | 10 | 3 | Плоскость |
Мин.пятно контакта, мм | Ø3 | Ø7 | Ø7 | Ø40 | Ø5 | Ø7 | |
Критическая толщина подложки (мм) | 0.2 | 0.5 | 0.5 | 2 | 0.3 | - |